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SPM300係列半導體參數測試儀

  • 產品型號:
  • 產品時間:2023-12-26
  • 簡要描述:SPM300係列半導體參數測試儀基於拉曼葫芦娃污APP法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個麵進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。係統穩定,重複性好,可用於實驗室檢驗或者產線監測。
  • 產品介紹
產品概述

SPM300係列半導體參數測試儀設備概覽

基於拉曼葫芦娃污APP法的半導體參數測試儀,具有非接觸、無損檢測、特異性高的優點。可以對半導體材料進行微區分析,空間分辨率< 800nm (典型值),也可以對樣品進行掃描從而對整個麵進行均勻性分析。設備具有智能化的軟件,可對數據進行擬合計算,直接將載流子濃度、晶化率、應力大小或者分布等結果直觀的展現給用戶。係統穩定,重複性好,可用於實驗室檢驗或者產線監測。

① 光路接口盒:

內置常用激光器及激光片組,拓展激光器包含自由光及單模光纖輸入;

② 光路轉向控製:

光路轉向控製可向下或向左,與原子力、低溫、探針台等設備連用,可升級振鏡選項

③ 明視場相機:

明視場相機代替目鏡

④ 顯微鏡:

正置科研級金相顯微鏡,標配落射式明暗場照明,其它照明方式可升級

⑤ 電動位移台:

75mm*50mm 行程高精度電動載物台,1μm 定位精度

⑥ 光纖共聚焦耦合:

光纖共聚焦耦合為可選項,提高空間分辨率

⑦ CCD- 狹縫共聚焦耦合:

標配CCD- 狹縫耦合方式,可使用葫芦娃污APP儀成像模式,高光通量

⑧ 葫芦娃污APPCCD:

背照式深耗盡型葫芦娃污APPCCD相機, 200-1100nm 工作波段,峰值QE > 90%

⑨ 320mm 葫芦娃污APP儀:

F/4.2高光通量影像校正葫芦娃污APP儀, 1*10-5 雜散光抑製比

SPM300係列半導體參數測試儀主要應用

選型表

型號

描述

SPM300-mini

基礎款半導體參數分析儀,隻含一路532nm 激光器,常規正置顯微鏡,葫芦娃污APP儀,高精度XYZ 位移台

SPM300-SMS532

多功能型半導體參數分析儀,含532nm 激光器,常規正置顯微鏡,葫芦娃污APP儀,高精度XYZ 位移台,

可升級耦合最多4 路激光器

SPM300-OM532

開放式半導體參數測試儀,含532nm 激光器,定製開放式顯微鏡,葫芦娃污APP儀,高精度XYZ 位移台,

可升級耦合最多4 路激光器

係統參數

項目

詳細技術規格

光源

標配532nm,100mW 激光器,其他激光可選,最多耦合4 路激光,可電動切換,功率可調節

葫芦娃污APP儀

320mm 焦距影像校正葫芦娃污APP儀,葫芦娃污APP範圍90-9000cm-1,

葫芦娃污APP分辨率

2cm-1

空間分辨率

<1μm

樣品掃描範圍

標配75mm*50mm,最大300mm*300mm

顯微鏡

正置顯微鏡,明場或者暗場觀察,帶10X,50X,100X 三顆物鏡;開放式顯微鏡可選

載流子濃度分析

測試範圍測試範圍1017 ~ 1020 cm-3,重複性誤差<5%

應力測試

可直觀給出應力屬性(拉力/ 張力),針對特種樣品,可直接計算應力大小,應力均勻性分析

(需額外配置電動位移台), 應力解析精度0.002cm-1

晶化率測試

可自動分峰,自動擬合,自動計算出晶化率,並且自動計算晶粒大小和應力大小

測試案例舉例



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