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大範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY

  • 產品型號:
  • 產品時間:2023-12-26
  • 簡要描述:室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學,半導體表征
  • 產品介紹

室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學,半導體表征


⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY產品特⾊

• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um;

• 閉環定位精度優於 1nm;

• 最⼤負載 500 g;

• 針對光學顯微鏡-超分辨定製化解決⽅案;

• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級


Carrier.S200.XY ⼤範圍壓電掃描台 — 技術參數
 

可選版本 ⇨

正常版本

.NM     絕對⽆磁版本;

.HV,     ⾼真空版本 ;

.UHV ,超⾼真空版本;

1           底⾯尺⼨*⾼度

180 mm × 150 mm × 20 mm

2           主體材料

鋁合⾦

3            中空透孔

80 mm × 60 mm

4           運動⾏程

200 um × 200 um

5            閉環分辨率

優於1nm

6           推薦最⼤負載

500 g

7            閉環傳感器

電容式

8            電容精度

0.3 nm

9           壓電電容(X, Y)

6.5 uF

15 到 40 攝⽒度

10          推薦使⽤溫度

11          質量

1 kg

12          安裝

螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY

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