聯係電話:
010-5637 0168-696
室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程掃描載物台 — 精密光學,半導體表征
⼤範圍壓電掃描台Carrier.S200.XY產品特⾊
• 兩維度XY 掃描運動 200 um × 200 um;
• 閉環定位精度優於 1nm;
• 最⼤負載 500 g;
• 針對光學顯微鏡-超分辨定製化解決⽅案;
• ⽀持⽆磁( .NM)和⾼真空( .UHV)選件升級
可選版本 ⇨ | 正常版本 |
.NM 絕對⽆磁版本; .HV, ⾼真空版本 ; .UHV ,超⾼真空版本; | |
1 底⾯尺⼨*⾼度 | 180 mm × 150 mm × 20 mm |
2 主體材料 | 鋁合⾦ |
3 中空透孔 | 80 mm × 60 mm |
4 運動⾏程 | 200 um × 200 um |
5 閉環分辨率 | 優於1nm |
6 推薦最⼤負載 | 500 g |
7 閉環傳感器 | 電容式 |
8 電容精度 | 0.3 nm |
9 壓電電容(X, Y) | 6.5 uF |
15 到 40 攝⽒度 | |
10 推薦使⽤溫度 | |
11 質量 | 1 kg |
12 安裝 | 螺紋孔⾃動兼容 Carrier.L7550.XY |