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大範圍壓電掃描台Carrier.L7550.XY

  • 產品型號:
  • 產品時間:2023-12-26
  • 簡要描述:室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ ⼤⾏程載物台 — 精密光學,半導體表征
  • 產品介紹

室溫 ·壓電運動⽅案 —“Carrier. 係列“ 大行程載物台 — 精密光學,半導體表征


產品特⾊

• XY ⽅向⼤⾏程 75 mm × 50 mm

• 最⼩步伐尺⼨約20 nm

• 最⾼速度 20 mm/s

• 閉環傳感,空間分辨率 100 nm / 10 nm

• 全⾏程運動中,保證通孔 85 mm × 65 mm

• ⽀持⽆磁 ( .NM ) & 超⾼真空 ( .UHV )

• 主體鋁合⾦(硬質氧化發⿊)


2D ·尺⼨圖


Carrier.L7550.XY ⼤範圍壓電掃描台 — 技術參數

 

可選版本 ⇨

正常版本

.NM

.HV

.UHV

.NM     絕對⽆磁版本;

.HV,     ⾼真空版本 ;

.UHV ,超⾼真空版本;

1        運動⽅向

X   Y

2        外形尺⼨

250 mm × 200 mm × 30 mm

3        必須安裝空間

325 mm × 250 mm

4        有效穿孔

85 mm × 65 mm

5        主體材料

鋁合⾦

6        線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線,

PEEK-2mm插針

7        ⼯作溫度

10 – 40 °C

運動參數-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質均在推薦安裝形式下測得)

8        運動⾏程

75 mm × 50 mm

9        最⼤速度

~ 20 mm/s

10       最⼩步伐

~ 30 nm

11       驅動頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運動)

12       最⼤負載

2 kg

13       全⾏程俯仰/偏擺

0.8 mrad

傳感精度

14       位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

75 mm × 50 mm

15       位置傳感量程

- 電阻型傳感( .R ),   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O ),   10 nm,   1nm可選(默認 10nm)

16       位置傳感分辨率

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